연구목표
- 반도체 EDS 공정 데이터를 활용하여 수백 PPM 단위의 불량을 탐지하는 분류 모형 개발
- 불량-양품의 비율이 극도로 불균형을 이루는 상황에서 해석 가능한 불량 탐지 모형 학습 절차 제시

연구결과
- 데이터 불균형 정도에 따른 데이터 분석 절차 (샘플링방법, 이상치제거방법, 분류기학습방법 등에 대한 가이드라인 정립)
- Bayes…

• Date

  2018.08-2019.08

• Funding

  삼성전자

연구목표
- PM(Preventive Maintenance)의 빈도가 높은 ELA공정을 대상으로 공정 상태의 변화를 동적으로 탐지할 수 있는 기술개발
- PM에 의한 데이터 분포 변화에 강건한 visibility 예측 모델링

연구결과
- FDC data의 변수 별 중요도, PM 주기에 반응하는 변수 파악
- 실시간 FDC data의 군집 배정 …

• Date

  2018.04-2019.04

• Funding

  삼성디스플레이

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• Date

  2018.01-2019.12

• Funding

  포스코

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• Date

  2017.04-2017.12

• Funding

  포스코

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• Date

  2017.04-2017.11

• Funding

  포스코

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• Date

  2016.01-2016.12

• Funding

  한국생산기술연구원

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• Date

  2014.07-2016.12

• Funding

  한국생산기술연구원

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• Date

  2013.05-2014.04

• Funding

  한국표준협회

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• Date

  2012.05-2015.04

• Funding

  한국연구재단

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• Date

  2012.07-2013.06

• Funding

  성균관대학교 교내연구